熱解氮化硼加工,熱解氮化硼簡介

熱解氮化硼英文名為Pyrolytic Boron Nitride，簡稱為Pyrolytic ?BN或PBN，也稱為Chemical vapour-deposited Boron Nitride、Chemical Vapour-deposition of Boron Nitride或CVD-BN等。

熱解氮化硼是一種通過化學(xué)氣相沉積法通過高溫熱解反應(yīng)制備獲得的一種氮化硼。說到熱解氮化硼就要先說說氮化硼的兩種主要結(jié)構(gòu)：六方和立方。這一點和碳的兩種晶型非常相似：石墨和金剛石。六方氮化硼和石墨在許多方面都非常相似，六方氮化硼也因此得名白石墨。熱解氮化硼是六方氮化硼，但是嚴格上說它又存在一定量的亂層結(jié)構(gòu)。采用化學(xué)氣相沉積法制備獲得PBN其主要的特點是純度非常高，可以達到99.99%以上。

PBN的結(jié)構(gòu)與形貌

熱解氮化硼（PBN）屬于六方晶系，是一種典型的層狀材料。層間與層內(nèi)原子間距差別較大，層間原子間距為3.33，層內(nèi)原子間距為1.45。熱解氮化硼的結(jié)構(gòu)由B和N原子分別在層內(nèi)和沿C軸方向交替排列組成。在高倍顯微鏡下可以觀察到，熱解氮化硼呈現(xiàn)出堆垛層錯，從而導(dǎo)致其平均層間距要大于理論的層間距。由于PBN在沉積過程中沿C軸方向生長，因此，表現(xiàn)出高度的層面取向，擇優(yōu)取向方向為C軸。

熱解氮化硼PBN性能特點

PBN是一種具有優(yōu)異性能的先進材料。它在高溫、高真空條件下，由氨和硼的鹵化物反應(yīng)沉積而成，既可以沉積成PBN薄板材料，也可以直接沉積成管、環(huán)或薄壁容器等PBN最終產(chǎn)品。它與普通的熱壓氮化硼(BN)不同，不必經(jīng)過傳統(tǒng)的熱壓燒結(jié)過程，不添加任何燒結(jié)劑，因此獲得的產(chǎn)品具有如下顯著特點：

（1）無毒、無味；

（2）純度高，達到99.999%以上；

（3）室溫下與酸、堿、鹽及有機試劑不反應(yīng)，在熔融的鹽、堿液中略腐蝕，但能抗高溫下各種酸的腐蝕；

（4）與大多數(shù)熔融金屬、半導(dǎo)體及其化合物不反應(yīng)；

（5）在1000℃以下，抗氧化性能良好；

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