多層六方氮化硼生產(chǎn)機(jī)制

天元航材化工原料廠家的小編今天給大家介紹下關(guān)于多層六方氮化硼生產(chǎn)機(jī)制的相關(guān)介紹，我們是一家生產(chǎn)銷售六方氮化硼，白石墨等氮化硼化工原料的廠家，已有50年的生產(chǎn)工藝經(jīng)驗(yàn)，那么您知道多層六方氮化硼的生長機(jī)制是怎么樣的嗎？一起來看看吧！

六方氮化硼（H-BN）具有優(yōu)異的綜合性能和特殊的二維結(jié)構(gòu)，在許多高科技領(lǐng)域具有非常廣闊的應(yīng)用前景。自石墨烯發(fā)現(xiàn)以來，二維層狀材料成為近幾十年來的研究熱點(diǎn)，在諸多領(lǐng)域顯示出巨大的應(yīng)用潛力。其中，有幾個(gè)原子層的六方氮化硼（H-BN），又稱白石墨烯。六方氮化硼（H-BN）是第三代寬禁帶半導(dǎo)體的代表材料之一，由于其寬禁帶、高溫穩(wěn)定性、優(yōu)良的機(jī)械性能、低介電常數(shù)和化學(xué)惰性。目前，晶圓級單晶H-BN單層的可控合成已取得突破。然而，由于先進(jìn)的H-BN合成技術(shù)發(fā)展緩慢，且缺乏對傳統(tǒng)方法生長機(jī)理的研究，大尺寸、高質(zhì)量H-BN的可控合成及其實(shí)際應(yīng)用受到限制。
現(xiàn)階段,h-BN原材料的生長發(fā)育及制作加工工藝尚不成熟,目前的化學(xué)氣相沉積(CVD)加工工藝溫度高,腐蝕刺激性強(qiáng),加工工藝操縱繁雜,還有非常大的提升前景.中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所副研究員吳天如精英團(tuán)隊(duì)和華東師范大學(xué)專家教授袁清紅精英團(tuán)隊(duì)，根據(jù)原位合成、表現(xiàn)科學(xué)研究與第一性原理計(jì)算方法，指出鐵硼（Fe2B）合金表面高質(zhì)量多層六方氮化硼（h-BN）原子空位協(xié)助生長發(fā)育新機(jī)制。
下面介紹一種多層六方氮化硼的制備方法，包括以下步驟：含硼和氮的化合物或含硼和氮的化合物在泡沫材料的催化下進(jìn)行化學(xué)氣相沉積反應(yīng)，沉積在基材上，即得到多層六方氮化硼。
1、泡沫材料的元素選自以下至少一種：鎢、鎳、銅、鐵、釕、鋁、鈦、鈷、鐵、鉻、鎂、錳、鉬、銠、鉭；
2、每英寸泡沫材料的孔數(shù)可以為10～1000個(gè)，具體數(shù)量可以是100個(gè)、10個(gè)～1000個(gè)、100個(gè)～1000個(gè)或50個(gè)～500個(gè)。
3、鹵化硼可以是氯化硼、氟化硼或溴化硼中的至少一種；10.過渡金屬可以選自銅(Cu)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈷(CO)、鐵(Fe)、鉑(PT)、金(Au)、鉻(Cr)中的至少一種)、鎂(MG)、錳(Mn)、鉬(Mo)、釕(RH)、鉭(TA)、鈦(Ti)、銠(RH)和鎢(W)
4、含硼化合物包括乙硼烷、氯化硼、溴化硼和碘化硼中的至少一種；5.氮化合物是氨；

6、含硼和氮的化合物包括氨基硼烷和/或環(huán)硼烷；

7、基材為過渡金屬；

8、基板的厚度可以是0.1μm～2000μm，具體可以是25μm、25μm～2000μm、0.1μm～25μm或10μm～1000μm。
9、化學(xué)氣相沉積反應(yīng)的溫度以1-200C/min的速度冷卻至室溫，可以是102.5、1-102.5C/min、102.5-200C/min或50-150C/min。
11、泡沫材料孔徑可以0.01mm～1mm，具體可以0.1mm、0.01mm～0.1mm、0.1mm～1mm、0.05mm～0.5mm；
14、化學(xué)氣相沉積反應(yīng)，系統(tǒng)壓力可為1Pa～105Pa，具體可為16Pa；
15、化學(xué)氣相沉積反應(yīng)溫度可800℃～1500℃，具體可1050℃；
16、化學(xué)氣相沉積反應(yīng)時(shí)間可以1min～200min，具體可以30min。
17、在化學(xué)氣相沉積中，載氣為氫氣、氬氣和氮?dú)庵械闹辽僖环N。
12、載氣流量可以0.1sccm～3000sccm，具體可以是10sccm、0.1sccm～10sccm、10SCcm～3000sccm或1SCcm～1000sccm；
13.在載氣流中，泡沫材料和基板靠近泡沫材料放置，基板之間的距離為0~10cm。
天元航材化工原料廠家的小編就給你介紹到這里了，有疑問的可以電話咨詢小編我！
參考資料:https://news.sciencenet.cn/htmlnews/2020/10/446827.shtmhttp://www.lps.ecnu.edu.cn/4b/df/c4826a347103/page.htm