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氮化硼的制備—化學氣相合成法

文章出處：天元航材責任編輯：天元化工新材廠家發(fā)布時間：2020-05-29 11:36:16 點擊數(shù)：102 【大 中 小】

[導讀]：氮化硼可以通過多種制備技術(shù)合成，這里我們來介紹一下化學氣相合成法，1979年Sokolowski成功利用脈沖等離子體技術(shù)在低溫低壓下制備成立方氮化硼(CBN)膜。所用設(shè)備簡單，工藝易于實現(xiàn)，因此得到迅...

氮化硼的制備—化學氣相合成法

氮化硼可以通過多種制備技術(shù)合成，這里我們來介紹一下化學氣相合成法，1979年Sokolowski成功利用脈沖等離子體技術(shù)在低溫低壓下制備成立方氮化硼(CBN)膜。所用設(shè)備簡單，工藝易于實現(xiàn)，因此得到迅速發(fā)展。已出現(xiàn)多種氣相沉積方法。

傳統(tǒng)來講主要是指熱化學氣相沉積。實驗裝置一般由耐熱石英管和加熱裝置組成，基體既可以通過加熱爐加熱(熱壁CVD)，也可以通過高頻感應加熱(冷壁CVD)。反應氣體在高溫基體表面發(fā)生分解，同時發(fā)生化學反應沉積成膜，反應氣體有BCl3或B2H4與NH3的混合氣體。

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